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掃描電鏡束流小，電子探針能來妒又妒土譜分析結(jié)果比掃描電鏡能譜精確一個(gè)數(shù)量級(jí)，電子探針元素面掃描可以用能譜，也可以用波譜，一般對(duì)輕元素(C以下)，波譜較準(zhǔn)確，相對(duì)來說波譜掃描時(shí)間較長(zhǎng)，一般定性及半定量基本用能譜。能量色散X射線譜英文全稱:Energy Dispersive Spectroscopy，原理:利用不同元素的X射線光來自子特征能量不同進(jìn)行成分分析么寬始準(zhǔn)強(qiáng)降夫山者升。X射線具有一定穿透性，能夠穿透一定深度的鍍層，所以在一定計(jì)量的X射線下，通過使用準(zhǔn)直器限定射線斑的大小，可以檢測(cè)到鍍層信號(hào)以及鍍層下基材的信號(hào)。鍍層越厚，鍍層信號(hào)越強(qiáng)
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